High-contrast microscopy of semiconductor and metal sites in integrated circuits by detection of optical feedback

• Autores: C. M. Blanca, V. J. Cemine, B. Buenaobra
• Localización: Optics letters: A publication of the Optical Society of America, ISSN 0146-9592, Nº. 21, 2004, págs. 2479-2481
• Idioma: inglés
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