Caracterización de peliculas delgadas de SiC y ZrO2-Y2O3 producidas por magnetron sputtering y post-recocido con laser de CO2

• Autores: F. Sequeda, Alfonso Devia Cubillos, G. Bolaños, Efraín Solarte, C. Goyes
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 37, Nº. 1, 2005, págs. 126-129
• Idioma: español
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• Resumen

  • En este trabajo se ha usado el Recocido Láser (RL) para modificar las características ópticas y morfológicas de películas delgadas cerámicas usadas en aplicaciones de ingeniería. Se usaron muestras de SiC y ZrO2-Y2O3 (ZrO2 con 8% por masa de Y2O3), las cuales fueron depositadas sobre substratos de cuarzo, silicio y zafiro, en un sistema Magnetron Sputtering (MS). Se eligieron blancos estequiométricos de SiC y ZrO2-Y2O3, para cada caso respectivo. En las muestras de SiC, se mantuvo un espesor nominal de 100nm. Para el recocido, se ha usado un Láser de CO2 de baja potencia, 1.2W y un tiempo de exposición de 10 min. Se presentan resultados de caracterización usando AFM, FTIR y XPS. Los resultados indican que la rugosidad, el tamaño de grano y las propiedades ópticas de las películas delgadas obtenidas por MS pueden ser modificadas con un tratamiento posterior de recocido láser a baja potencia, sin presentar cambios en su composición química y disminuyendo el tiempo de procesamiento de estos materiales en comparación con técnicas convencionales de recocido en hornos.