In situ Negative Patterning of p-Silicon via Scanning Probe Lithography in HF/EtOH Liquid Bridges

• Autores: Jeongjin Lee, Younahun Kim, Jongheop Yi, Inhee Choi
• Localización: Journal of the American Chemical Society: JACS, ISSN 0002-7863, Vol. 127, Nº. 26, 2005, págs. 9380-9381
• Idioma: inglés
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