Development of specimen and test method for strength analysis of MEMS micromirror

• Autores: Atsushi Suzuki, Makoto Yamaguchi, Chan Wee Ping, Satoshi Izumi, Shinsuke Sakai, Yuzuru Ueda
• Localización: Engineering fracture mechanics, ISSN 0013-7944, Nº. 17, 2005, págs. 2672-2685
• Idioma: inglés
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