Opacity of neutral and low ion stages of Sn at the wavelength 13.5 nm used in extreme-ultraviolet lithography (4 pages)

• Autores: M. Lysaght, D. Kilbane
• Localización: Physical review A: atomic, molecular and optical physics, ISSN 1050-2947, Vol. 72, Nº. 1, 2005, pág. 14502
• Idioma: inglés
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