Intrinsic stress development and microstructure evolution of Au/Cr/Si multilayer thin films subject to annealing

• Autores: Conrad R. Stoldt, Ken Gall, Cari F. Herrmann, Hans J. Maier, David C. Miller, Steve M. George
• Localización: Scripta materialia, ISSN 1359-6462, Vol. 52, Nº. 9, 2005, págs. 873-879
• Idioma: inglés
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