Silicon cleaning and defect passivation effects of hydrogen cyanide aqueous solutions

• Autores: Yueh-Ling Liu, Naozumi Fujiwara, Hikaru Kobayashi, Masao Takahashi, Hitoo Iwasa
• Localización: Solid state communications, ISSN 0038-1098, Vol. 137, Nº. 5, 2006, págs. 263-267
• Idioma: inglés
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