Deposición de películas de zirconio/ nitruro de zirconio en forma de multicapas por magnetron sputtering reactivo

• Autores: J.M. Caicedo, P. Prieto, G. Bejarano, Adam G. Balogh, J.C. Caicedo, S. Gottschalk
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 37, Nº. 2, 2005, págs. 388-392
• Idioma: español
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• Resumen

  • Con el fin de mejorar las propiedades mecánicas y tribológicas de los recubrimientos multicapa de Zr/ZrN frente a los recubrimientos monocapa de ZrN y lograr una mayor eficiencia de estos recubrimientos en las diferentes aplicaciones industriales, se investigaron sus características microestructurales, morfológicas, mecánicas y tribologícas en función del número de bicapas y del periodo de las mismas, manteniendo un espesor constante de 4 micras. Las técnicas de caracterización utilizadas fueron: la Microscopia electrónica de barrido (SEM), Espectroscopia de energía dispersiva de rayos X (EDX), Espectroscopia de difracción de rayos X (XRD) y medidas de rayado y micro indentación. Los recubrimientos, con un número de bicapas entre 1 y 12, fueron depositados sobre substratos de Silicio (Si) con orientación (100). Una comparación entre las propiedades de la monocapa de ZrN y las multicapas de ZrN/Zr revelaron una mayor dureza y adherencia en los recubrimientos de 12 bicapas.