Performance of multilayer coatings in relationship to microstructure of metal layers. Characterization and optical properties of Mo/Si multilayers in extreme ultra-violet and x-ray ranges

• Autores: E. Meltchakov
• Localización: Journal of physics: Condensed matter, ISSN 0953-8984, Nº. 13, 2006, págs. 3355-3366
• Idioma: inglés
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