Peliculas de ti6al4v crecidas sobre aceros 316l mediante la tecnica de pulverizacion catodica magnetron rf y nitruradas por plasma

• Autores: E. M. Cárdenas, J. E. Alfonso, C. A. Ortiz
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 38, Nº. 2, 2006, págs. 465-468
• Idioma: español
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• Resumen

  • En este trabajo se han crecido películas delgadas de Ti6Al4V mediante la técnica de pulverización catódica magnetrón rf, sobre acero 316L y se les ha sometido a un tratamiento posterior de nitruración por plasma, en función del tiempo, para establecer si existen cambios en las propiedades mecánicas por la incorporación del nitrógeno a la red cristalina de la película. Las condiciones utilizadas para crecer las películas fueron: Presión 7x10 -3 mbar, tiempo de 1 hora y potencia 400 W. Las películas se nitruraron a una diferencia de potencial de 500 V, a una presión de 3 torr. Los resultados de EDX revelan que la película esta compuesta en promedio de 78.3% Wt de Ti, 6. % Wt de Al, 12.0% Wt de V y 2.1% Wt de N. Por otra parte, los resultados de DRX muestran que la película crece a lo largo del plano (110) de la fase b (Ti estabilizado con V) de la aleación. Finalmente, las pruebas mecánicas realizadas sobre las películas nitruradas indican que la microdureza aumenta ligeramente.