Spontaneous generation of negatively charged clusters and their deposition as crystalline films during hot-wire silicon chemical vapor deposition

• Autores: D.-Y. Kim, N.-M. Hwang, J.-Y. Kim
• Localización: Pure and applied chemistry, ISSN 0033-4545, Vol. 78, Nº 9, 2006, págs. 1715-1722
• Idioma: inglés
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