Time resolved measurements of the CF~2 rotational temperature in pulsed fluorocarbon rf plasmas

• Autores: O. Gabriel, M. Pfafferott, S. Stepanov
• Localización: Plasma sources: science & technology, ISSN 0963-0252, Nº. 4, 2006, págs. 858-864
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)