Spatial and frequency dependence of plasma currents in a 300 mm capacitively coupled plasma reactor

• Autores: P. A. Miller, E. V. Barnat, A. M. Paterson, G. A. Hebner
• Localización: Plasma sources: science & technology, ISSN 0963-0252, Nº. 4, 2006, págs. 889-900
• Idioma: inglés
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