Diseño y construcción de un sistema multicátodo automatizado para deposición física de vapores asistida por plasmas de arco pulsado (PAPVD)

• Autores: Alfonso Devia Cubillos, S. Vargas, Miguel A. Espitia, G.I. Alzate, H. Castillo, V.J. Benavides, F. Bermeo, Y.C. Arango, F.J. Vargas, D. Grajales, O. López, R. Franco, C. Botero, O. Milcota
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 39, Nº. 1, 2007, págs. 167-170
• Idioma: español
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• Resumen
  • español

    Se ha diseñado un equipo multicátodo de tipo industrial, para la producción de películas delgadas mediante deposición física de vapores asistida por plasma, por la técnica de evaporación por arcos eléctricos pulsados. El equipo se compone de una cámara de vacío, con geometría cilíndrica y dimensiones 1 m de diámetro y 1 m de longitud. Las piezas se localizan en un árbol portamuestras intercambiable que tiene movimiento rotacional planetario. La evaporación se realiza simultáneamente en 8 blancos rotatorios, a través de una fuente de potencia controlada con tecnología IGBT. Todas las variables del proceso son controladas automáticamente.

  • English

    Multi-evaporator equipment for industrial applications has been designed. It is used to produce thin films by means of Plama Asisted Physical Vapour Deposition, using pulsed electric arc evaporation technique. This equipment is conformed by a vacuum chamber. It has cylindrical geometry and its dimensions are 1 meter of diameter and 1 meter of length. The pieces to be coated, are localized in an interchangeable sample holder tree. This has a planetary rotatory movement. The evaporation is realized simultanealy in each one of eight rotatory targets, using a controlled power supply, with IGBT technology. All the variables of the process are controlled automatically.