Diseño y construcción de una fuente de polarización (BIAS) automatizada para mejoramiento de propiedades físicas y químicas de recubrimiento funcionales por la técnica PAPVD

• Autores: H.A. Castillo, A. M. Echeverry, S. Vargas, Miguel A. Espitia, Alfonso Devia Cubillos
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 39, Nº. 1, 2007, págs. 171-174
• Idioma: español
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• Resumen
  • español

    En la actualidad existe la gran necesidad de incorporar nuevas variables que mejoren los resultados obtenidos en el proceso de crecimiento de películas delgadas por las técnicas asistidas por plasma, una de esas variables es el voltaje de polarización de las muestras o voltaje Bias, el cual es un voltaje negativo que permite arrastrar con mayor eficiencia la descarga de plasma hacia la muestra obteniendo de esta manera mejores resultados. En este trabajo se presenta el diseño y construcción de una fuente negativa de polarización (Bias) automatizada, que permite lograr altos desempeños en la producción de recubrimientos funcionales, tales como la disminución en los tiempos de producción y la supervisión constante de la variable a través de una interfase grafica desarrollada en LabVIEW. Todo el sistema esta compuesto por una fuente de potencia negativa variable en un rango de 0 a -600 Voltios la cual es controlada mediante la interfase grafica, permitiendo de esa manera tener control directo sobre la variable y establecer los valores y/o parámetros a la cual se quiere llevar el sistema antes y después de realizar la descarga.

  • English

    At the present time the great necessity arises to incorporate new variables that improve the results obtained in the process of growth of thin films by the techniques assisted by plasma (PAPVD), one of those variables is the polarization of voltage of the samples or Bias voltage, which is a negative voltage that allows to drag with greater efficiency the plasma discharge towards the sample being obtained this way better results. In this work one appears the design and construction of a negative source of polarization (Bias) automated, that allows to obtain stops performances in the production of functional coverings, such as the diminution in the times of production and the constant supervision of the variable through a developed graphical interphase in LabVIEW. All the system this made up of a source of variable negative power in a rank from 0 to -600 Volts which is controlled through of the graphical interphase, allowing of that way to have direct control on the variable and to establish the values and/or parameters to which it is wanted to take the system before and after making the discharge.