Patterned crack-free PZT thick films for micro-electromechanical system applications.

• Autores: F. Dauchy, R.A. Dorey
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 33, Nº. 1-2, 2007, págs. 86-94
• Idioma: inglés
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