Development of the precision planar motor stage using a new magnet array and robust control with the parametric uncertainty model.

• Autores: H.-J. Shin, H.-J. Pahk
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 33, Nº. 7-8, 2007, págs. 643-651
• Idioma: inglés
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