Effect of a trace of water vapor on Ohmic contact formation for AlGaN/GaN epitaxial wafers.

• Autores: W.S. Lau, W.T. Wong, J.B.H. Tan, B.P. Singh
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 5, 2008, págs. 794-797
• Idioma: inglés
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