Microsystems elements based on free-standing thick-films made with a new sacrificial layer process.

• Autores: C. Lucat, P. Ginet, C. Castille, Hélène Debéda, F. Ménil
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 6, 2008, págs. 872-875
• Idioma: inglés
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