Resumen de Influencia del tratamiento térmico en la cristalización y rugosidad de películas delgadas de LinbO3 depositadas por el método 'Spin Coating'

Jose Arana Varela, A. Zirpoli, Bratislava Stojanovic, M. A. Zaghete, A. A. Cavalheiro, M. Cilense, A.H.M González

• español

  Películas delgadas de niobato de litio (LiNbO3 ) con estequiometria 1/1 han sido preparadas por el proceso “spin-coating” utilizándose precursores poliméricos. Las capas depositadas en sustratos de silicio (100) han sido tratadas térmicamente entre 400°C y 600°C durante 3 horas. El objetivo ha sido estudiar como el tratamiento térmico influye en la cristalinidad, microestructura, tamaño de granos y rugosidad de as películas. La cristalización de la fase LiNbO3 ocurre a bajas temperaturas (400ϒC), como demuestran los resultados de análisis por difracción de rayos-X (DRX) obtenidos para las películas. Los resultados por MEB posibilitaron la conclusión de que a temperaturas alrededor de 500°C se obtienen películas delgadas densas.

  Por su turno, el tamaño de granos y rugosidad son muy afectados por la temperatura de calentamiento, siendo esta conclusión posible por los análisis por MFA.

• English

  Lithium niobate (LiNbO3 ) thin films with 1/1 stoichiometry were prepared by a spin-coating from polymeric precursor method. The films deposited on silicon (100) substrates, were thermally treated from 400° to 600°C for 3 hours in order to study the influence of thermal treatment on the crystallinity, microstructure, grain size and roughness. X-ray diffraction (XRD) results showed that LiNbO3 phase crystallizes at low temperature (400°C). It was observed by scanning electron microscopy (SEM) that it is possible to obtain dense thin films at temperatures around 500°C. The atomic force microscopy (AFM) results showed that the grain size and roughness are strongly influenced by the annealing temperature.