Depósito de películas ultradelgadas de óxido de zinc (ZnO) por ALD

• Autores: Eduardo Martínez G, José A Flores, Eduardo Pérez Tijerina
• Localización: CIENCIA-UANL, ISSN-e 2007-1175, ISSN 1405-9177, Vol. 13, Nº. 3, 2010, págs. 247-253
• Idioma: español
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