New Test Structures for Evaluating the Scaling Limit of a Narrow U-Groove Isolation Structure

• Autores: Y. Tamaki, T. Hashimoto
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 82, Nº 4, 1999, págs. 612-617
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)