Fabrication of Microchannel with Thin Cover Layer for an Optical Waveguide MEMS Switch Based on Microfluidics

• Autores: T. Ikemoto, Y. Kokubun
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 90, Nº 1, 2007, págs. 78-86
• Idioma: inglés
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