A Novel Selected Area Laser Assisted (SALA) System for Crystallization and Doping Processes in Low-Temperature Poly-Si Thin-Film Transistors (INVITED)

• Autores: P. Rusian, M. Dorfan, B. Lavi, I. Leizerson, A. Kishinevsky, Y. Van Andel, R. Ishihara, A. Glazer, Y. Raab
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 89, Nº 10, 2006, págs. 1377-1382
• Idioma: inglés
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