Resumen de Efecto de la temperatura de substrato en las propiedades estructurales, óptica y ferroeléctricas de películas delgadas de BaTiO_3 depositadas por RF sputtering

A. Márquez Herrera, E. Hernández Rodríguez, O. Calzadilla Amaya, M. Meléndez-Lira, M. Zapata Torres

• español

  Se crecieron películas delgadas de Titanato de Bario (BaTiO_3) sobre substratos de cuarzo y nicromel, utilizando un blanco de BaTiO_3 mediante la técnica erosión catódica por radiofrecuencia. Variamos la temperatura de substrato con el fin de determinar su efecto sobre las propiedades estructurales, ópticas y ferroeléctricas de las muestras. Los resultados de la difracción de Rayos-X indicaron que las muestras tuvieron una estructura tetragonal, aumentando su cristalinidad conforme se aumentó la temperatura de substrato. El ancho de banda prohibida disminuyó con el aumento en la temperatura de substrato, mostrando un decremento abrupto a 494.8ºC. Las propiedades ferroeléctricas de las películas mostraron una dependencia con la temperatura de substrato, obteniéndose la mejor respuesta a 494.8ºC.

• English

  Thin Films of Barium Titanate (BaTiO_3) were grown on nichrome and quartrz substrates, using a BaTiO_3 target, by RF -sputtering technique. We varied the substrate temperature in order to study its effect on the structural, optical and ferroelectric properties of the samples. The results of the X-Ray diffraction showed tetragonal structure with increases of the cristallinity as increases the substrate temperature. Furthermore, it observed by ultraviolet-visible (UV-VIS) spectroscopy that the band gap decreased as the substrate temperature incrases showing abrupt sharp decrease at 494.8ºC. The ferroelectric properties of the films showed a dependence with substrate temperature, the best ferroelectric answer was obtained at 494.8ºC.