Estudio de la cinética de auto-intersticiales de silicio usando membranas de silicio bajo oxinitridación térmica

• Autores: A. Morales-Acevedo, J. Carrillo López
• Localización: Revista Mexicana de Física, ISSN-e 0035-001X, Vol. 45, Nº. 2 (ABR), 1999, págs. 163-173
• Idioma: español
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