Large-scale process optimization for focused ion beam 3-D nanofabrication

• Autores: Ruwen Qin, Jing Fu, Zhaozheng Yin, Changxi Zheng
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 64, Nº. 1-4, 2013, págs. 587-600
• Idioma: inglés
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