Design and application of an efficient scheme for wafer transfer procedure during ion implantation process

• Autores: Keke Bian, Yu Zhou, Chao Wan, Yuhao Gao, Ao Fu, Chenglong Fu, Ken Chen
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 64, Nº. 9-12, 2013, págs. 1781-1789
• Idioma: inglés
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