Resumen de Dose dependent shift of the TL glow peak in a silicon rich oxide (SRO) film

T.M. Piters, D. Berman-Mendoza, Mariano Aceves-Mijares, L.R. Berriel-Valdos, J.A. Luna-López

• español

  En este trabajo se investigaron las propiedades de Termoluminiscencia (TL) de películas de oxido de silicio con exceso de silicio irradiadas con UV. La curva de emisión termoluminiscencia exhibe dos picos simétricos, uno centrado en 120ºC y la otra centrada en alrededor de 240ºC. La posición del máximo pico de TL en 120ºC parece correrse hacia altas temperaturas con el incremento en la dosis de radiación, mientras el pico que se encuentra a altas temperaturas se desplaza hacia temperaturas bajas. El corrimiento hacia temperaturas bajas con el incremento de la dosis de radiación del pico en 240ºC es típico para un pico emisión cinético de segundo orden. El corrimiento del pico de emisión en 120ºC hacia temperaturas altas sin embargo es peculiar y en este trabajo se explica como un efecto de la naturaleza multifases (nanopartículas de Silicio embebidas en el oxido de silicio) de la película.

• English

  Thermoluminescence (TL) properties of UV irradiated siicon oxide films with silicon nano particles were investigated. The TL glow curve exhibits two symmetric glow peaks, one centered at about 120ºC and the other one centered at around 240ºC. The position of the peak maximum of the 120ºC TL peak appears to shift to higher temperatures with increasing radiation done while the high temeperature peak shifts to lower temperature. The shift to lower temperature with increasing radiation dose of the 240ºC peak is typical for a second order kinetics glow peak. The shift of the 120ºC peak to higher temperature however is peculiar and is explained in this work as an effect of the multiple phase (silicon nano particles embedded in silicon oxide) nature of the film.