Development of fixed abrasive chemical mechanical polishing process for glass disk substrates.

• Autores: Y.B. Tian, Z.W. Zhong, S.T. Lai
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 68, Nº. 5-8, 2013, págs. 993-1000
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)