Introduction to Photolithography: Preparation of Microscale Polymer Silhouettes

• Kimberly L. Berkowski ^[1] ; Kyle N. Plunkett ^[1] ; Qing Yu ^[1] ; Jeffrey S. Moore ^[1]
  1. [1] University of Illinois at Urbana Champaign

     University of Illinois at Urbana Champaign

     Township of Cunningham, Estados Unidos

     
• Localización: Journal of chemical education, ISSN 0021-9584, Vol. 82, Nº 9, 2005, pág. 1365
• Idioma: inglés
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