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Estudio composicional y microestructural de láminas delgadas ferroeléctricas obtenidas con tratamientos térmicos rápidos

  • Autores: R. Sirera, M.J. Martín, M. L. Calzada
  • Localización: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, ISSN 0366-3175, Vol. 37, Nº. 2, 1998, págs. 109-112
  • Idioma: español
  • Títulos paralelos:
    • Compositional and microstructural study of ferroelectric thin films treated with a rapid thermal process
  • Enlaces
  • Resumen
    • español

      Láminas delgadas ferroeléctricas de titanato de plomo modificado con calcio se han preparado mediante un proceso sol-gel. Para la cristalización de la fase perovskita, las láminas se someten a tratamientos térmicos rápidos (RTP), con velocidades de calenta-miento de ~30°C/s. La concentración de las soluciones precursoras de partida afecta al espesor final de las láminas y, por tanto, repercute en la microestructura resultante. Por otro lado, la incorporación de excesos de PbO en las soluciones precursoras com-pensa la falta de estequiometría en las láminas y afecta también a la microestructura final.

    • English

      Calcium modified lead titanate ferroelectric thin films were prepared by a sol-gel process. The films require a thermal treatment in order to promote the crystallization of a perovskite phase. In this work films have been treated by rapid thermal process, denoted as RTP, using heating rates of ~30°C/s. Molarity of the precursor solutions affects directly the thickness and, consequently, the final microstructure of the films. On the other hand, addition of PbO excess to the precursor solution compensates the stoichiometry and has influence on the microstructure.


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