Resumen de Tecnología de fabricación de detector de Silicio-Litio con juntura superficial
Ana Ester Cabal Rodríguez, Angelina Díaz García, C. Noriega Scull
Los sensores de radiaciones nucleares con base en Silicio, transforman la carga producida dentro de este semiconductor, producto de la incidencia de partículas y rayos X, en pulsos de voltaje a la salida del preamplificador. El detector planar de Silicio-Litio con juntura superficial es básicamente un diodo de estructura PIN. Por medio de la difusión y deriva del Litio en el Silicio, se crea la zona compensada, donde interactúan las radiaciones incidentes, produciendo una señal eléctrica proporcional a la energía depositada en el detector. El proceso tecnológico comprende diferentes etapas, algunas de ellas complejas y de larga duración, las cuales exigen además un control sistemático.Se realizó la puesta a punto del proceso tecnológico de fabricación de detectores de este tipo, caracterizándose eléctricamente en los diferentes pasos. Un dispositivo fue encapsulado y montado dentro de un criostato para trabajar a temperatura del nitrógeno líquido. El detector fue evaluado con un sistema espectrométrico y cuenta con una resolución energética de 180 eV para la línea de 5,9 KeV de la fuente de Fe-55, lo que ha permitido trabajar con él en fluorescencia de rayos X dispersiva en energía.
