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Resumen de Circuitos para controlabilidad de CI por haz electrónico (E-Beam)

Jordi Madrenas Boadas, Joan Cabestany Moncusí

  • Se presentan dos tipos de circuitos adecuados para la detección del haz electrónico (utilizando técnicas de Electron Beam Testing) y su consecuente aplicación a la controlabilidad de puntos internos del CI a energías de haz compatibles con la observación de voltajes internos.

    Se han diseñado células detectoras de dimensiones reducidas con unos tiempos de respuesta simulados del orden de microsegundos.

    Experimentalmente se han generado estados lógicos mediante haz electrónico en los primeros prototipos.


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