Comparative characterization of high-density plasma reactors using emission spectroscopy from VUV to NIR

• Autores: Z.-G. Guo, Z.-D. Kang, Y.-K. Pu
• Localización: Pure and applied chemistry, ISSN 0033-4545, Vol. 74, Nº 3, 2002, págs. 459-464
• Idioma: inglés
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