Resumen de Recubrimientos ópticos en el rango espectral entre 50 y 200 nm

Mónica Fernández Perea, José Antonio Méndez, Juan Ignacio Larruquert Goicoechea, J.A. Aznárez

• español

  El desarrollo de recubrimientos ópticos eficientes en la región espectral comprendida entre 50 y 200 nm (UVE-UVL) supone un reto debido a la gran absorción y baja reflectancia que presentan la mayoría de los materiales en este intervalo. Por otro lado estos recubrimientos son una pieza importante para el progreso de multitud de campos como las observaciones astronómicas, el diagnóstico de plasmas y la litografía. En este trabajo se describen algunos de los recubrimientos ópticos desarrollados hasta el momento por el Grupo de investigación en Óptica de Láminas Delgadas (GOLD), que operan en la región UVE-UVL del espectro. En GOLD disponemos de un equipo experimental de ultra-alto vacío que permite la deposición y medida in situ de la transmitancia y la reflectancia de multicapas en función del ángulo de incidencia y en el rango espectral UVL-UVE. Las multicapas están formadas por hasta seis materiales distintos, que pueden ser depositados mediante tres técnicas de preparación diferentes. Las medidas de transmitancia y reflectancia en función del ángulo de incidencia realizadas in situ permiten la determinación de las constantes ópticas (n, k) de los materiales sin que hayan sido expuestos a la atmósfera. Dada la gran dependencia existente entre las propiedades ópticas de las láminas delgadas y la exposición atmosférica en este rango espectral, nuestro equipo experimental constituye una herramienta muy adecuada para su determinación, y por lo tanto para el diseño y preparación de multicapas innovadoras. Palabras clave: Recubrimientos ópticos, ultravioleta extremo, ultravioleta lejano, láminas delgadas, reflectometría.

• English

  The development of efficient optical coatings in the spectral region between 50 and 200 nm (EUV-FUV) is an important challenge due to the great absortion and low reflectance that most of the materials present in this region. In addition, these coatings are an important element in the advance of many fields like astronomical abservations, plasma diagnosis and lithography. In this work we describe some of the optical coatings developed by the Research Group in Thin Film Coatings (GOLD), which operate in the EUV-FUV region of the spectrum. In GOLD we have an ultra high vacuum experimental system that permits the deposition and in situ measurement of the transmittance and reflectance of multilayers, as a function of the angle of incidence, and in the EUV-FUV spectral range. We prepare multilayers with up to six different materials, which can be deposited using three different techniques. In situ transmittance and reflectance measurements versus the angle of incidence permits the determination of the optical constants (n,k) of the materials, without being exposed to the atmosphere. Due to the great dependance between the optical properties of thin film layers in this spectral range, and the exposition to the atmosphere, our experimental system is a very adequate tool for the determination of those properties, and therefore for the design and fabrication of novel multilayers.