Direct Measurement of the Reaction Front in Chemically Amplified Photoresists

• Autores: Christopher L. Soles, Ronald L. Jones, Marie Angelopoulos, Joseph L. Lenhart, Sean D. Burns, Eric K. Lin, C. Grant Willson, Wen-li Wu, Dario L. Goldfarb, Sushil K. Satija, Brian C. Trinque
• Localización: Science, ISSN 0036-8075, Vol. 297, Nº 5580, 2002, págs. 372-375
• Idioma: inglés
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