Metrology for MEMS Manufacturing Optical profiling has proved to be a versatile measurement technology for MEMS development and for control over novel silicon micromachining processes

• Autores: L. E. S. Clair
• Localización: Sensors, ISSN 0746-9462, Vol. 17, Nº 7, 2000, págs. 24-33
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)