Diseño de una fuente de iones por medio de un reactor de plasma

• Autores: Arón Hernández Trinidad, G. H. Maury Cuna, Maria Concepción García Castañeda
• Localización: Ingenierías, ISSN-e 1405-0676, Vol. 22, Nº. 84, 2019, págs. 56-65
• Idioma: español
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    Las fuentes de iones tienen muchas aplicaciones en la industria, la medicina y la ciencia, particularmente en los aceleradores de partículas. En este trabajo, se reporta el diseño, mecánico y electromagnético, de un diseño de una fuente de iones a partir de un reactor de plasma. El diseño consta de tres cámaras, en la primera se producen iones dando lugar a la generación de un plasma.

    Posteriormente, está la cámara de extracción, conformada por un electrodo con potencial negativo que produce un campo electroestático que acelera los iones positivos que se encuentran dentro del plasma. Finalmente, la cámara de detección, donde una placa con la que se cuentan los iones que chocan con ella.

    Para el diseño mecánico de la fuente de iones se utilizó el software Inventor Autodesk y la simulación del campo electromagnético de RF fue mediante el software COMSOL Multiphysics®.

  • English

    Ion sources have many applications in industry, medicine and science, particularly in particle accelerators. In this work, the design, mechanical and electromagnetic, of a design of an ion source from a plasma reactor. is reported.

    The design consists of three chambers, in the first they produce ions resulting in the generation of a plasma. Subsequently, there is the extraction chamber, formed by an electrode with negative potential that produces an electrostatic field that accelerates the positive ions inside the plasma. Finally, the detection chamber, where a plate with which the ions that collide with it are counted.

    The Inventor Autodesk software was used for the mechanical design of the ion source. The simulation of the RF electromagnetic field were performed with COMSOL Multiphysics® software.