The Promise of Generic Micromachining Technology for MEMS New, generic technologies for surface micromachining on SOI wafers, along with drastically dropping costs, promise substantial benefits for MEMS development

• Autores: S. Renard
• Localización: Sensors, ISSN 0746-9462, Vol. 18, Nº 7, 2001, págs. 59-63
• Idioma: inglés
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