Resumen de Crecimiento de películas delgadas de óxido de vanadio por sputtering rf y caracterización por espectroscopía raman
Julián Hernández Torres, Erick. O.Santos Santiago, Leandro García González, Luis Zamora Peredo, Teresa Hernández Quiroz, Daniela Guzmán Castillo
- español
Se fabricaron películas delgadas de óxido de vanadio por la técnica de Sputtering RF, usando un blanco de dióxido de vanadio, sobre sustratos de vidrio Corning. Las películas fueron fabricadas con diferentes valores de potencia: 40, 60, 80 y 100 W. Posteriormente, las películas fueron sometidas a tres series de tratamientos térmicos en una atmósfera de aire, usando una temperatura de 350 °C y variando el tiempo del tratamiento en una, dos y tres horas. La formación de las diferentes fases de los óxidos de vanadio fue estudiada usando microscopía Raman en función de la potencia de fabricación y de los tratamientos térmicos pos-depósito. Los resultados obtenidos mostraron que espectroscopía Raman es una técnica altamente sensible para determinar la presencia de las diferentes fases de dióxido de vanadio en películas amorfas. Se encontró que sin tratamiento térmico se puede obtener películas de pentóxido de vanadio fabricadas a 100 W.
- English
Thin films of vanadium oxide were fabricated by the Sputtering RF technique, using a vanadium dioxide target on Corning glass substrates. The films were fabricated with different power values: 40, 60, 80 and 100 W. Subsequently, the films were subjected to three series of heat treatments in air atmosphere, using a temperature of 350 °C and varying the time of treatment in one, two and three hours . The formation of the different phases of the vanadium oxides was studied using Raman microscopy according to the fabricated power and post-deposit heat treatments. The results obtained showed that Raman spectroscopy is a highly sensitive technique to determine the presence of the different phases of vanadium oxide in amorphous films. It was found that without heat treatment it is possible to obtain films of vanadium pentoxide manufactured at 100 W.
