Characterisation of inter-metal dielectric deposition processes on CMOS backplanes for liquid crystal on silicon microdisplays

• Autores: I. Underwood, G. Bodammer, Y. Lee, W. Parkes
• Localización: IEE Proceedings: Optoelectronics, ISSN 1350-2433, Vol. 151, Nº 1, 2004, págs. 53-59
• Idioma: inglés
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