Characterization of bidimensional gratings by spectroscopic ellipsometry and angle-resolved Mueller polarimetry

• Autores: B. Kaplan, A. De Martino, T. Novikova
• Localización: Applied optics: A publication of the Optical Society of America, ISSN 0003-6935, Nº. 6, 2004, págs. 1233-1240
• Idioma: inglés
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