Depth profiling of high-energy hydrogen-implanted 6H-SiC

• Autores: S. Blanque, T. Maurice, D. J. Brink
• Localización: Applied optics: A publication of the Optical Society of America, ISSN 0003-6935, Nº. 6, 2004, págs. 1275-1280
• Idioma: inglés
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