Stress relief and texture formation in aluminium nitride by plasma immersion ion implantation

• Autores: D. R. McKenzie, B. K. Gan, M. M. M. Bilek
• Localización: Journal of physics: Condensed matter, ISSN 0953-8984, Nº. 11, 2004, págs. 1751-1760
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)