Influence of the pressure and power on the non-equilibrium plasma chemistry of C~2, C~2H, C~2H~2, CH~3 and CH~4 affecting the synthesis of nanodiamond thin films from C~2H~2 (1%)/H~2/Ar-rich plasmas

• Autores: Francisco José Gordillo Vázquez
• Localización: Plasma sources: science & technology, ISSN 0963-0252, Nº. 1, 2004, págs. 50-57
• Idioma: inglés
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