A Feasibliity Study of ZnO-Based FBAR Devices for an Ultra-Mass-Sensitive Sensor Application

• Autores: L. Mai, D. H. Kim
• Localización: Microwave and optical technology letters, ISSN 0895-2477, Vol. 42, Nº. 6, 2004, págs. 505-507
• Idioma: inglés
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