High-Q LIGA-MEMS Vertical Cantilever Variable Capacitors for Upper Microwave Frequencies

• Autores: D. M. Klymyshyn, D. T. Haluzan
• Localización: Microwave and optical technology letters, ISSN 0895-2477, Vol. 42, Nº. 6, 2004, págs. 507-511
• Idioma: inglés
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