EL OBJETO DE ESTA TESIS ES EL ESTUDIO DE LAS ESTRUCTURAS MULTICAPA DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO Y SUS ALEACIONES CON CARBONO DESDE DIVERSOS PUNTOS DE VISTA. EN PRIMER LUGAR, SE ABORDAN LA PREPARACION DE LAS ESTRUCTURAS MEDIANTE DEPOSITO QUIMICO EN FASE VAPOR ASISTIDO POR PLASMA Y ALGUNOS ASPECTOS TECNOLOGICOS SOBRE ESTA TECNICA APLICADA AL DEPOSITO DE MULTICAPAS DE SEMICONDUCTORES AMORFOS. EL SISTEMA EXPERIMENTAL DE DEPOSITO UTILIZADO ES UN SISTEMA MONOCAMARA CONVENCIONAL, PERO DOTADO DE UN SISTEMA DE PORTASUSTRATOS GIRATORIO QUE PERMITE OCULTAR LOS SUSTRATOS DE LA INFLUENCIA DEL PLASMA MIENTRAS DURA EL INTERCAMBIO DE GASES.
LA ESTRUCTURA DE LAS MULTICAPAS SE ESTUDIA MEDIANTE UN ESPECTRO AMPLIO DE TECNICAS DE CARACTERIZACION. NO PARECE EXISTIR HIDROGENO ADICIONAL EN LAS INTERFICIES, ASI COMO TAMPOCO SE DETECTAN ASIMETRIAS ENTRE LAS INTERFICIES.
LAS PROPIEDADES OPTICAS Y ELECTRICAS DE LAS MULTICAPAS SE ESTUDIAN MEDIANTE ESPECTROSCOPIA DE TRANSMISION OPTICA, ESPECTROSCOPIA DE DEFLEXION FOTOTERMICA, CONDUCTIVIDAD Y FOTOCONDUCTIVIDAD EN LA DIRECCION PARALELA Y CONDUCTIVIDAD A TRAVES DE ESTRUCTURAS DOBLE BARRERA.
SE PONEN DE MANIFIESTO ALGUNOS DE LOS EFECTOS INTERESANTES QUE APARECEN EN ESTOS NUEVOS MATERIALES, COMO EL AUMENTO DE GAP Y DE LA ENERGIA DE ACTIVACION DE LA CONDUCTIVIDAD EN OSCURIDAD, LA FOTOCONDUCTIVIDAD PERSISTENTE Y ALGUNAS ANOMALIAS EN LA CARACTERISTICA INTENSIDAD-VOLTAJE DE ESTRUCTURAS DOBLE BARRERA. ALGUNOS DE ESTOS RESULTADOS PUEDEN INTERPRETARSE COMO RESULTADO DE EFECTOS CUANTICOS, AUNQUE SE PROPONEN OTRAS POSIBLES EXPLICACIONES EN TERMINOS DE LAS PROPIEDADES ESTRUCTURALES.
FINALMENTE, SE PRESENTAN ALGUNAS POSIBLES APLICACIONES DE LAS MULTICAPAS A CELULAS SOLARES Y A FOTODETECTORES DE CAMPO ELEVADO.
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