Integracio monolitica de sensors de pressio i circuits de condicionament en una tecnologia cmos comercial
- Autores: Enric Montane Borras
- Directores de la Tesis: Sebastià A. Bota (dir. tes.)
- Lectura: En la Universitat de Barcelona ( España ) en 1999
- Idioma: español
- Tribunal Calificador de la Tesis: Francisco Serra Mestres (presid.), Josep Samitier Martí (secret.), Joan Bausells Roigé (voc.), J. Carrabina (voc.), Diego Ramírez Muñoz (voc.)
- Materias:
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- Resumen
EL principal objetivo de la tesis es realizar un proceso de diseño global para la obtención de un microsistema específico: un sensor de presión micromecanizado en volumen (desarrollado a partir de una tecnologia CMOS comercial y unos postprocesados para la micromecanización del dispositivo compatibles).
El proceso de diseño incluye el desarrollo de estructuras de test para caracterizar las propiedades mecánicas de los materiales de la tecnología comercial utilizada: el proceso ECPD10 de Atmel-ES2.
A partir del comportamiento experimental del sensor diseñado se ha obtenido un modelo eléctrico.
Se ha desarrollado también un circuito de condicionamiento eficiente en modo corriente y un sensor de temperatura para obtener la temperatura de trabajo del senssor de presión, que podrá ser utilizada por un sistema de compensación externo. Finalmente se ha obtenido la integración conjunta en el mismo integrado de los tres bloques diseñados.
